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MI-9500

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超高精度檢測

新開發的數字插值技術能夠對7.5μm的超細線掩膜板進行精細檢測。

新檢測算法

新開發的缺陷檢測算法大大提高了定位細微刻痕與隆起、檢測黑白
針孔和開路/短路缺陷的能力。

假點數更少

裝置中已加入一項新的功能,用于減少由設計或生產因素導致的設
計的假點數。這項功能使您在保持檢測能力的同時,指定假點的類
型和位置,以減少總的假點數。

強化裝置支持高精度檢測

自動對焦裝置作為一項標準特征提供。檢測期間,裝置基于掩膜板
表面條件進行實時自動對焦。該裝置總是在正確的對焦位置進行掃
描,從而進行高可靠性的準確檢測。此外,為膜片與玻璃掩膜板安
裝光學定位裝置,防止掩膜板搬運時出現損壞。

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